Средства контроля и измерения вакуума ILMVAC
Диапазон технологически используемого
вакуума распространяется на большую область давлений - от
атмосферного давления в 1000 мбар до сверхвысокого вакуума порядка
10-12 мбар. Для измерения этого давления служат вакуумметры.
Существующие физические методы измерения не позволяют производить
замер величины вакуума на всем диапазоне с помощью только одного
измерительного принципа. Для диапазонов низкого, среднего, высокого
и сверхвысокого вакуума существует ряд специальных сенсоров и
измерительных приборов. Для покрытия большинства областей измерения предлагаются
комбинированные сенсорные системы. При выборе средств измерения важным является не только диапазон
измерения давления, а также механические и химические нагрузки на
датчик и его надежность. Широкий ассортимент средств измерения
компании ILMVAC позволит найти оптимальное решение для различных
диапазонов давления и применений в вакуумной технике. Некоторые
средства измерения имеют управляющую электронику и могут,
соответственно, использоваться как контроллеры вакуума.
Измерители низкого вакуума
Диапазон измерения: от атмосферного давления до 1 мбар.
Значения
давления этих приборов не зависят от характера газовой среды.
Измерители среднего вакуума
Диапазон измерений: от 1 мбар до приблизительно 10-7 мбар.
Принцип
измерения зависит от характера газовой среды.
Измерители высокого вакуума
Диапазон измерений: от 10-3 мбар до приблизительно 10-7 мбар.
Принцип
измерения зависит от характера газовой среды.
Широкодиапазонные вакуумметры
Диапазон измерений: от 4000 мбар до 10-5 мбар.
Комбинированный сенсор
с применением пьезо-принципа и принципа измерения Пирани. |